熔融石英玻璃 東ソー・エスジーエム株式会社

Tosoh SGM靠著範圍廣泛的產品與長年累積的技術,可以對應所有的市場需求。
本公司的石英玻璃大致分為熔融石英玻璃與合成石英玻璃,分別依照使用目的細分成更細微的等級。

  • Transparent Silica Glass 透明石英玻璃

    以氫氧燄熔融高純度結晶性矽粉。
    純度高,氣泡與異物較少,具有穩定的品質,被廣泛作為半導體製造裝置用的反應管、晶舟及蝕刻機用零組件的材料使用。
    其他產品陣容還包括耐熱性佳的電漿熔煉品。

    透明石英玻璃
    製造方法 等級 特點
    氫氧熔煉 N 氣泡較少的半導體用標準等級
    NP N高純度品
    電氣熔煉 HR 耐熱性佳的半導體用標準等級
    HRP HR高純度品
  • Opaque Silica Glass 不透明石英玻璃

    以氫氧燄熔融高純度結晶性矽粉。
    將玻璃中的微泡分散,純度高且具有優越的隔熱性與遮光性,被廣泛應用於半導體、太陽能電池高溫製程裝置的隔熱與遮光零組件(法蘭等)。

    不透明石英玻璃
    製造方法 等級 特點
    氫氧熔煉 OP-1 半導體用白色不透明石英
    OP-3 半導體用白色不透明石英的高純度品
    OP-3HD 提高OP-3表面平滑度的等級
  • Ultra-high-purity fused silica glass 超高純度熔融石英玻璃

    以氫氧燄熔融高純度合成矽粉。
    由於氣泡與異物極為少量,而且具有可匹敵合成石英的純度,即使在真空紫外線範圍下依然呈現高穿透率。
    使用於特別怕受到金屬污染的半導體高純度晶圓處理裝置、蝕刻機用零組件或準分子燈管等產品。

    超高純度熔融石英玻璃
    製造方法 等級 特點
    氫氧熔煉 S 光穿透性佳的超高純度熔融石英玻璃
  • Silica Glass Wool 石英玻璃棉

    將熔融石英玻璃加工成纖維狀,具有石英玻璃的高純度、耐熱性與耐藥品性。
    作為隔熱材、濾光鏡與氣相層析儀的填充材使用。

    石英玻璃棉
    等級 特點
    Fine 纖維直徑:2~6um
    Coarse 纖維直徑:4~9um

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高機能材料事業部 電子材料部 石英BU

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