용융 석영 유리 東ソー・エスジーエム株式会社

토소 에스지엠은 폭넓은 라인업과 오랫동안 키워온 기술을 통해 고객의 다양한 니즈에 대응할 수 있습니다.
당사의 석영 유리는 크게 나누어 용융 석영 유리와 합성 석영 유리로 각각 사용 목적에 따라 더욱 세분화된 그레이드로 구성되어 있습니다.

  • Transparent Silica Glass 투명 석영 유리

    고순도 결정성 실리카 분말을 산수소염으로 용융.
    고순도에 기포, 이물질이 적고 안정된 품질을 보유하여 반도체 제조 장치용 반응관, 보드 및 식각기용 부품에 적합한 소재로 폭넓게 사용됩니다.
    그 밖의 내열성이 뛰어난 플라즈마 용융품도 취급하고 있습니다.

    투명 석영 유리
    제조법 그레이드 특징
    산수소 용융 N 기포가 적은 반도체용 표준 그레이드
    NP N의 고순도 제품
    전기 용융 HR 내열성이 뛰어난 반도체용 표준 그레이드
    HRP HR의 고순도 제품
  • Opaque Silica Glass 불투명 석영 유리

    고순도 결정성 실리카 분말을 산수소염으로 용융.
    유리안에 미세한 기포를 분산시킨 제품. 고순도로 우수한 단열성과 차광성을 겸비해 반도체, 태양 전지 제조용 고온 프로세스 장치의 단열, 차광 부품(플랜지 등)에 폭넓게 사용됩니다.

    불투명 석영 유리
    제조법 그레이드 특징
    산수소 용융 OP-1 반도체용 백색 불투명 석영
    OP-3 반도체용 백색 불투명 석영의 고순도 제품
    OP-3HD OP-3의 표면 평활성을 높인 그레이드
  • Ultra-high-purity fused silica glass 초고순도 용융 석영 유리

    고순도 합성 실리카 분말을 산수소염으로 용융.
    기포, 이물질이 매우 적고 합성 석영에 필적하는 순도를 가지므로 진공 자외선 영역에서도 높은 투과율을 보입니다.
    특히 금속 오염에 취약한 반도체 고순도 웨이퍼 처리 장치, 식각기용 부품과 엑시머 램프관 등에 사용됩니다.

    초고순도 용융 석영 유리
    제조법 그레이드 특징
    산수소 용융 S 광 투과성이 뛰어난 초고순도 용융 석영 유리
  • Silica Glass Wool 석영 유리 섬유

    용융 석영 유리를 섬유 상태로 가공한 제품으로 석영 유리가 지닌 고순도, 내열성, 내약품성을 가집니다.
    단열재, 필터, 가스 크로마토그래피의 충전재로 사용됩니다.

    석영 유리 섬유
    그레이드 특징
    파인 섬유 직경: 2~6㎛
    코스 섬유 직경: 4~9㎛

문의

제품 주문에 관한 문의

tel. +81-3-6636-3731

토소 주식회사
고기능 재료 사업부 전자 재료부 석영 BU

이메일 문의

문의 양식