半導体製造装置用の反応管、ボート及びエッチャー用部品向けの素材として幅広く使用されています。
半導体、太陽電池製造用の高温プロセス装置の断熱、遮光部品(フランジ等)に幅広く使用されています。
特に金属汚染を嫌う、半導体高純度ウエハー処理装置、エッチャー用部品や、エキシマランプ管等に使用されています。
断熱材、フィルター、ガスクロマトグラフィーの充填材として使用されています。
液晶パネル製造用マスク基板材料を初めとする各種透過基板材料、エキシマレーザー、ステッパーのレンズ、その他各種レンズ、プリズム、ミラー、窓板等、様々な用途に使用されています。
赤外、遠赤外領域での光透過率が良好であり、赤外領域でのレンズ材、窓材等に用いられています。
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東ソー株式会社 高機能材料事業部 電子材料部 石英BU