純度
溶融石英ガラスは主に天然水晶を、また、合成石英ガラスは主に四塩化ケイ素(SiCl4)を原料として製造されています。
含有する不純物は、溶融石英ガラスでppm、合成石英ガラスでppbレベルでしかありません。
代表的石英ガラス素材の化学分析例
単位：ppm
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| 種別 | グレード | Al | Ca | Cu | Fe | Na | K | Li | Mg | OH | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 溶融 |
透明 |
N |
8 |
0.6 |
<0.01 |
0.2 |
0.6 |
0.1 |
0.07 |
0.06 |
200 |
|
NP |
7 |
0.5 |
<0.01 |
0.1 |
0.1 |
0.04 |
0.07 |
0.02 |
200 |
||
|
S |
0.7 |
<0.01 |
<0.01 |
0.05 |
0.1 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
160 |
||
|
HRP |
15 |
0.6 |
<0.01 |
0.2 |
0.2 |
0.6 |
0.2 |
0.1 |
10 |
||
|
不透明 |
OP-1 |
8 |
0.7 |
<0.01 |
0.2 |
0.6 |
0.3 |
0.07 |
0.06 |
160 |
|
|
OP-3 |
8 |
0.6 |
<0.01 |
0.2 |
0.08 |
0.1 |
0.07 |
0.04 |
160 |
||
|
OP-3HD |
8 |
0.6 |
<0.01 |
0.2 |
0.08 |
0.1 |
0.07 |
0.04 |
160 |
||
| 合成 |
透明 |
ES*1 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
1000 |
|
ED-C |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<1 |
||
|
ED-H |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<0.01 |
<100 |
||
（数値は代表値であり、保証値ではありません）
*1 ESL-1,ESL-2,ESL-1000,ESL-2000の純度はESと同等。