製品情報

東ソー・エスジーエムでは、幅広い品揃えと長年培ってきた技術によりあらゆるニーズに対応が可能です。当社の石英ガラスは大きく分けて溶融石英ガラスと合成石英ガラスとがあり、それぞれが使用目的に応じてさらに細かなグレードに細分化されております。

溶融石英ガラス

透明石英ガラス

高純度結晶性シリカ粉を酸水素炎で溶融。
高純度で泡、異物が少なく、安定した品質を有し、半導体製造装置用の反応管、ボート及びエッチャー用部品向けの素材として幅広く使用されています。その他、耐熱性に優れたプラズマ溶融品もラインナップしています。

製造法	グレード	特徴
酸水素溶融	N	気泡が少ない半導体用標準グレード
	NP	Nの高純度品
電気溶融	HR	耐熱性に優れた半導体用標準グレード
	HRP	HRの高純度品

不透明石英ガラス

高純度結晶性シリカ粉を酸水素炎で溶融。
ガラス中に微泡を分散させたもので、高純度で優れた断熱性、遮光性を有し、半導体、太陽電池製造用の高温プロセス装置の断熱、遮光部品（フランジ等）に幅広く使用されています。

製造法	グレード	特徴
酸水素溶融	OP-1	半導体用白色不透明石英
	OP-3	半導体用白色不透明石英の高純度品
	OP-3HD	OP-3の表面平滑性を高めたグレード

超高純度溶融石英ガラス

高純度合成シリカ粉を酸水素炎で溶融。
泡、異物が極めて少なく、また合成石英に匹敵する純度であるため、真空紫外領域においても高い透過率を示します。
特に金属汚染を嫌う、半導体高純度ウエハー処理装置、エッチャー用 部品や、エキシマランプ管等に使用されています。

製造法	グレード	特徴
酸水素溶融	S	光透過性に優れた超高純度溶融石英ガラス

石英ウール

溶融石英ガラスをファイバー状に加工したもので、石英ガラスがもつ、高純度、耐熱性、耐薬品性を有しています。
断熱材、フィルター、ガスクロマトグラフィーの充填材として使用されています。

グレード	特徴
ファイン	ファイバー径：2～6um
コース	ファイバー径：4～9um