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純度

純度

溶融石英ガラスは主に天然水晶を、また、合成石英ガラスは主に四塩化ケイ素(SiCl4)を原料として製造されています。含有する不純物は、溶融石英ガラスでppm、合成石英ガラスでppbレベルでしかありません。
◎代表的石英ガラス素材の化学分析例
単位:ppm

種別 グレード Al Ca Cu Fe Na K Li Mg OH
溶融 透明 N 8 0.6 <0.01 0.2 0.6 0.1 0.07 0.06 200
NP 7 0.5 <0.01 0.1 0.1 0.04 0.07 0.02 200
S 0.7 <0.01 <0.01 0.05 0.1 <0.01 <0.01 <0.01 160
HRP 15 0.6 <0.01 0.2 0.2 0.6 0.2 0.1 10
不透明 OP-1 8 0.7 <0.01 0.2 0.6 0.3 0.07 0.06 160
OP-3 8 0.6 <0.01 0.2 0.08 0.1 0.07 0.04 160
OP-3HD 8 0.6 <0.01 0.2 0.08 0.1 0.07 0.04 160
合成 透明 ES*1 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 1000
ED-C <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <1
ED-H <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <100

(数値は代表値であり、保証値ではありません)

*1:ESL-1,ESL-2,ESL-1000,ESL-2000の純度はESと同等。