製品情報

合成石英ガラス

合成石英ガラス

ESシリーズ

ESシリーズ

四塩化ケイ素(SiCl4)を酸水素炎にて加水分解・溶融。
不純物、泡・異物を殆ど含まず、真空紫外~赤外領域の幅広い波長領域で優れた光透過性を有しています。また、均質性、エキシマ耐性等を高めたグレードもラインナップしています。
液晶パネル製造用マスク基板材料を初めとする各種透過基板材料、エキシマレーザー、ステッパーのレンズ、その他各種レンズ、プリズム、ミラー、窓板等、様々な用途に使用されています。

グレード 特徴
ES 汎用光学向け大型材料
ESL-1 1方向脈理フリー
ESL-1000 1方向脈理フリー、エキシマレーザー対応
ESL-2 3方向脈理フリー
ESL-2000 3方向脈理フリー、エキシマレーザー対応

EDシリーズ

EDシリーズ

四塩化ケイ素(SiCl4)を原料とし、VAD法により製造。OH基濃度を制御した合成石英ガラスで用途により有水のED-Hと無水のED-Cの選択が可能です。
ED-Hは、真空紫外領域での光透過率が極めて良好であるため、レーザー用レンズ材、ミラー、窓材として様々な光学用途に用いられ、また、耐熱性に優れるため、超高純度を要求される半導体製造装置の炉心管、治具等にも用いられています。ED-Cは、赤外、遠赤外領域での光透過率が良好であり、赤外領域でのレンズ材、窓材等に用いられています。

グレード 特徴
ED-H 3方向脈理フリーの有水グレード
ED-C 完全無水グレード(OH基濃度<1ppm)
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