제품 정보

토소 에스지엠은 폭넓은 라인업과 오랫동안 키워온 기술을 통해 고객의 다양한 니즈에 대응할 수 있습니다.
당사의 석영 유리는 크게 나누어 용융 석영 유리와 합성 석영 유리로 각각 사용 목적에 따라 더욱 세분화된 그레이드로 구성되어 있습니다.

합성 석영 유리

ES 시리즈

사염화 규소(SiCl4)를 산수소염으로 가공 분해, 용융.
불순물, 기포, 이물질이 거의 없어 진공 자외선~적외선 영역의 폭넓은 파장 영역에서 뛰어난 광 투과성을 가집니다.
또한 균질성, 엑시머 내성 등을 높인 그레이드도 라인업 되어 있습니다.
액정 패널 제조용 마스크 기판 재료를 비롯해 각종 투과 기판 재료, 엑시머 레이저, 스테퍼의 렌즈, 그 밖의 각종 렌즈, 프리즘, 거울, 창판 등 다양한 용도로 사용됩니다.

그레이드	특징
ES	범용 광학용 대형 재료
ESL-1	1방향 맥리프리
ESL-1000	1방향 맥리프리, 엑시머 레이저 대응
ESL-2	3방향 맥리프리
ESL-2000	3방향 맥리프리, 엑시머 레이저 대응

ED 시리즈

사염화 규소(SiCl4)를 원료로 하며 VAD법으로 제조. OH기 농도를 제어한 합성 석영 유리로 용도에 따라 유수 ED-H와 무수 ED-C을 선택할 수 있습니다.
ED-H는 진공 자외선 영역의 광 투과율이 매우 뛰어나기 때문에 레이저용 렌즈재, 거울, 창재 등의 다양한 광학 용도에 사용되며 내열성이 뛰어나 초고순도가 필요한 반도체 제조 장치의 노심관, 지그 등에도 사용됩니다.
ED-C는 적외선, 원적외선 영역의 광 투과율이 좋아 적외선 영역에서의 렌즈재, 창재 등에 사용됩니다.

그레이드	특징
ED-H	방향 맥리프리 유수 그레이드
ED-C	완전 무수 그레이드(OH기 농도〈1ppm)