제품 정보

용융 석영 유리

토소 에스지엠은 폭넓은 라인업과 오랫동안 키워온 기술을 통해 고객의 다양한 니즈에 대응할 수 있습니다.
당사의 석영 유리는 크게 나누어 용융 석영 유리와 합성 석영 유리로 각각 사용 목적에 따라 더욱 세분화된 그레이드로 구성되어 있습니다.

용융 석영 유리

투명 석영 유리

透明石英ガラス

고순도 결정성 실리카 분말을 산수소염으로 용융.
고순도에 기포, 이물질이 적고 안정된 품질을 보유하여 반도체 제조 장치용 반응관, 보드 및 식각기용 부품에 적합한 소재로 폭넓게 사용됩니다.
그 밖의 내열성이 뛰어난 플라즈마 용융품도 취급하고 있습니다.

제조법 그레이드 특징
산수소 용융 N 기포가 적은 반도체용 표준 그레이드
NP N의 고순도 제품
전기 용융 HR 내열성이 뛰어난 반도체용 표준 그레이드
HRP HR의 고순도 제품

불투명 석영 유리

불투명 석영 유리

고순도 결정성 실리카 분말을 산수소염으로 용융.
유리안에 미세한 기포를 분산시킨 제품. 고순도로 우수한 단열성과 차광성을 겸비해 반도체, 태양 전지 제조용 고온 프로세스 장치의 단열, 차광 부품(플랜지 등)에 폭넓게 사용됩니다.

제조법 그레이드 특징
산수소 용융 OP-1 반도체용 백색 불투명 석영
OP-3 반도체용 백색 불투명 석영의 고순도 제품
OP-3HD OP-3의 표면 평활성을 높인 그레이드

초고순도 용융 석영 유리

초고순도 용융 석영 유리

고순도 합성 실리카 분말을 산수소염으로 용융.
기포, 이물질이 매우 적고 합성 석영에 필적하는 순도를 가지므로 진공 자외선 영역에서도 높은 투과율을 보입니다.
특히 금속 오염에 취약한 반도체 고순도 웨이퍼 처리 장치, 식각기용 부품과 엑시머 램프관 등에 사용됩니다.

제조법 그레이드 특징
산수소 용융 S 광 투과성이 뛰어난 초고순도 용융 석영 유리

석영 유리 섬유

石英ウール

용융 석영 유리를 섬유 상태로 가공한 제품으로 석영 유리가 지닌 고순도, 내열성, 내약품성을 가집니다.
단열재, 필터, 가스 크로마토그래피의 충전재로 사용됩니다.

그레이드 특징
파인 섬유 직경: 2~6㎛
코스 섬유 직경: 4~9㎛