Tosoh SGM靠著範圍廣泛的產品與長年累積的技術,可以對應所有的市場需求。
本公司的石英玻璃大致分為熔融石英玻璃與合成石英玻璃,分別依照使用目的細分成更細微的等級。
合成石英玻璃
ES系列
以氫氧燄將四氯化矽(SiCl4)加水分解與熔煉。
幾乎完全未含不純物、氣泡與異物,在真空紫外線到紅外線的廣泛波長範圍具有優越的光穿透性。
此外,也包括提高均質性、準分子耐性等之等級產品。
使用於以液晶面板製造用光罩基板材料為首的各種穿透基板材料、準分子雷射、步進曝光機的鏡片、其他各種鏡片、稜鏡、鏡子、窗板等各式各樣的用途。
等級 | 特點 |
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ES | 針對通用光學的大型材料 |
ESL-1 | 在一方向沒有脈理/td> |
ESL-1000 | 在一方向沒有脈理、準分子雷射對應 |
ESL-2 | 在三方向沒有脈理 |
ESL-2000 | 在三方向沒有脈理、準分子雷射對應 |
ED系列
以四氯化矽(SiCl4))為原料,根據VAD法製造而成。屬於控制氫氧基濃度的合成石英玻璃,依照用途可以選擇有水等級的ED-H及無水等級的ED-C。
由於ED-H在真空紫外線區具有極優的光穿透率,使用於雷射用鏡片材料、鏡子與窗戶材料等各式各樣的光學用途。此外,因耐熱性佳,也用於要求超高純度的半導體製造裝置的爐心管與治具等用途。
ED-C在紅外線與遠紅外線區具有優良的光穿透率,用於紅外線範圍的鏡片材料與窗戶材料等用途。
等級 | 特點 |
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ED-H | 在三方向沒有脈理的有水等級 |
ED-C | 完全無水等級(氫氧基濃度<1ppm) |