產品資訊

熔融石英玻璃

Tosoh SGM靠著範圍廣泛的產品與長年累積的技術,可以對應所有的市場需求。
本公司的石英玻璃大致分為熔融石英玻璃與合成石英玻璃,分別依照使用目的細分成更細微的等級。

熔融石英玻璃

透明石英玻璃

透明石英玻璃

以氫氧燄熔融高純度結晶性矽粉。
純度高,氣泡與異物較少,具有穩定的品質,被廣泛作為半導體製造裝置用的反應管、晶舟及蝕刻機用零組件的材料使用。
其他產品陣容還包括耐熱性佳的電漿熔煉品。

製造方法 等級 特點
氫氧熔煉 N 氣泡較少的半導體用標準等級
NP N高純度品
電氣熔煉 HR 耐熱性佳的半導體用標準等級
HRP HR高純度品

不透明石英玻璃

不透明石英ガラス

以氫氧燄熔融高純度結晶性矽粉。
將玻璃中的微泡分散,純度高且具有優越的隔熱性與遮光性,被廣泛應用於半導體、太陽能電池高溫製程裝置的隔熱與遮光零組件(法蘭等)。

製造方法 等級 特徴
氫氧熔煉 OP-1 半導體用白色不透明石英
OP-3 半導體用白色不透明石英的高純度品
OP-3HD 提高OP-3表面平滑度的等級

超高純度熔融石英玻璃

超高純度熔融石英玻璃

以氫氧燄熔融高純度合成矽粉。
由於氣泡與異物極為少量,而且具有可匹敵合成石英的純度,即使在真空紫外線範圍下依然呈現高穿透率。
使用於特別怕受到金屬污染的半導體高純度晶圓處理裝置、蝕刻機用零組件或準分子燈管等產品。

製造方法 等級 特點
氫氧熔煉 S 光穿透性佳的超高純度熔融石英玻璃

石英玻璃棉

石英玻璃棉

將熔融石英玻璃加工成纖維狀,具有石英玻璃的高純度、耐熱性與耐藥品性。
作為隔熱材、濾光鏡與氣相層析儀的填充材使用。

等級 特點
Fine 纖維直徑:2~6um
Coarse 纖維直徑:4~9um